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星弧涂層的離子束源為陽極層離子束,它是一種帶有閉環電子偏移離子發射通道冷陰極形式的離子源。該離子源由作為冷陰極電子發射源的導磁殼體,離子發射通道和位于通道之下對稱分布于殼體之中的陽極構成。連續的通道構成磁場間隙并提供偏移電子閉合回旋和加速。
        星弧可為客戶提供應用于各行業的各種離子束模塊,同時配備星弧或其它品牌的相應電源。

技術特點:
  平行離子束
  易于安裝的法蘭形式
●  增強離子束中和能力
●  能量可到2000 eV

典型應用:
高精密鏡面模具
半導體封裝模具
有色金屬、石墨、亞克力等材料切割的精密刀具
自潤滑耐磨零件
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