首頁 >涂層設備 >LED設備 > 金屬濺鍍設備

金屬濺鍍設備.jpg

 

 

Jupiter- V02-SP設備是應用于LED芯片和半導體晶元基片上電極金屬鍍膜的專有設備。該設備采用磁控濺射和離子束技術,實現在Si基、GaAs基以及GaN基 的晶元基板上的實現多層金屬薄膜沉積。配合相應的薄膜沉積工藝,由Jupiter-V02-SP 所提供的電極金屬薄膜,不但具有優異的結合力,同時也具良好的均勻性。
          Jupiter-V02-SP設備具有良好穩定性和高度自動化程度,也可根據客戶的要求實現多功能和多用途以適用于客戶獨立的工藝開發需求。

技術特點:
PVD 薄膜沉積技術:磁控濺射和離子束
工藝氣體:5N Ar
兩吋晶圓裝載量:160片;四吋晶圓裝載量:42片
可同時沉積多達5種金屬層
薄厚均勻性:±5%
在線膜厚檢測和控制
控制方式:PLC+工業控制電腦全自動控制

典型應用:
 LED 芯片電極制作
 半導體電極電路制作
 
 

免费预测陕西快乐十分 沙雅县| 怀化市| 伊通| 邮箱| 固原市| 蕉岭县| 逊克县| 吴旗县| 沂水县| 随州市| 建湖县| 扶绥县| 汉沽区| 墨江| 上思县| 阳泉市| 贵阳市| 旺苍县| 镇赉县| 涿州市| 冕宁县| 余姚市| 久治县| 兴隆县| 乌恰县| 赤水市| 巴南区| 阳新县| 临夏县| 日土县| 临夏市| 乌海市| 远安县| 南华县| 金坛市| 兰溪市| 视频| 孟村| 麻江县| 敖汉旗| 江北区| 贵溪市| 广德县| 太康县| 河东区| 淅川县| 司法| 桐梓县| 清苑县| 保定市| 商洛市| 泾源县| 曲水县| 双城市| 嘉荫县| 内丘县| 河间市| 桓仁| 威海市| 龙游县| 潜江市| 易门县| 榆社县| 九寨沟县| 徐闻县| 嘉鱼县| 阿拉善右旗| 介休市| 招远市| 大同市| 惠东县| 托里县| 南靖县| 本溪| 漳州市| 铜梁县| 盘山县| 彩票| 枝江市| 永春县| 田林县| 曲阳县| 赞皇县| 辉南县| 同心县| 启东市| 宜宾市| 元江| 宜丰县| 深圳市| 仙游县| 盈江县| 乌兰浩特市| 台江县| 丰镇市| 灵宝市| 沂南县| 拜城县| 高雄市| 金寨县| 兴宁市| 准格尔旗| 廉江市| 宁安市| 武乡县| 沙雅县| 浏阳市| 虹口区| 吴桥县| 东城区| 始兴县| 图木舒克市| 金华市| 鄂伦春自治旗| 合作市| 伊宁市| 赣榆县| 沈阳市| 宣威市| 云阳县| 天水市| 黄梅县| 嘉定区| 锡林浩特市| 新化县| 太白县| 紫云| 凤凰县| 沅陵县| 武夷山市| 陵水| 枣阳市| 金寨县| 钦州市| 宁国市| 江口县| 洮南市|